TGV（Through Glass Via）玻璃基板封裝技術(shù)是一種創(chuàng)新的垂直電氣互連技術(shù)，通過(guò)在玻璃基板上形成垂直的微型通孔，實(shí)現(xiàn)芯片與芯片、芯片與基板之間的高密度互連。該技術(shù)源自TSV硅通孔技術(shù)，但采用玻璃作為基板材料，解決了傳統(tǒng)硅基轉(zhuǎn)接板的高損耗、高成本及工藝復(fù)雜等問(wèn)題。TGV技術(shù)具有出色的高頻電學(xué)特性、大尺寸超薄玻璃襯底、優(yōu)異的機(jī)械穩(wěn)定性及良好的導(dǎo)熱系數(shù)等優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于傳感器、CPU、GPU、AI芯片、顯示面板及半導(dǎo)體先進(jìn)封裝等領(lǐng)域，推動(dòng)了高性能計(jì)算和芯片封裝技術(shù)的革新。

      激光直寫(xiě)3D波導(dǎo)技術(shù)利用自開(kāi)發(fā)的飛秒激光直寫(xiě)設(shè)備，通過(guò)精確控制激光在玻璃基材上的寫(xiě)入，實(shí)現(xiàn)高精度的三維波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。該技術(shù)具有低損耗、高密度、精細(xì)加工的優(yōu)勢(shì)，能夠在微米級(jí)別上精確調(diào)控光的傳播路徑，廣泛應(yīng)用于光學(xué)通信、傳感器和光電集成等領(lǐng)域，推動(dòng)光通信器件和模塊的創(chuàng)新與發(fā)展。